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中國(guó)生產(chǎn)真空泵的廠家很多，我國(guó)真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)，國(guó)內(nèi)真空泵已在各個(gè)領(lǐng)域得到應(yīng)用和驗(yàn)證，部分泵也出口到國(guó)外，得到了國(guó)外用戶的認(rèn)可和好評(píng)?？梢哉f(shuō)，中國(guó)真空泵制造業(yè)在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)上還有很大的發(fā)展空間。

1.液環(huán)泵

在國(guó)外，液體環(huán)泵的銷售占真空泵市場(chǎng)的14%，僅次于干泵。由于液體環(huán)泵多為鑄件，加工要求不高，屬于勞動(dòng)密集型產(chǎn)品，因此國(guó)內(nèi)液環(huán)泵在價(jià)格上具有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)，真空泵品牌，減少體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。

2.滑閥泵

真空泵型滑動(dòng)閥市場(chǎng)在國(guó)內(nèi)外各種真空爐、涂包機(jī)和烘干、浸漬設(shè)備中均作為前置泵使用，但滑動(dòng)閥泵鑄件重量大，加工工作量大，因此國(guó)外真空廠正在中國(guó)尋找合作伙伴。為使國(guó)產(chǎn)滑閥泵進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)，2BVA系列水環(huán)真空泵，有必要進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)和噪聲，消除噴油和泄漏，提高滑閥泵長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。

3.直聯(lián)旋片泵

隨著真空技術(shù)在各種應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)展，對(duì)直接耦合旋片泵的需求不斷增加。由于這樣的泵數(shù)量很多，加工和裝配工作量很大，價(jià)格很低。因此，一些國(guó)外真空制造商在中國(guó)建立了專業(yè)工廠。國(guó)內(nèi)中小型直聯(lián)式旋葉泵已通過(guò)技術(shù)壁壘，其價(jià)格比國(guó)外泵便宜得多。因此，國(guó)產(chǎn)水泵仍然具有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。關(guān)鍵是解決軸封漏油問(wèn)題，解決旋葉材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題，保證直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定、運(yùn)行可靠，進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋葉泵的水蒸氣抽汽性能。能力。

4.羅茨泵

羅茨泵的產(chǎn)值不大，但國(guó)外羅茨泵的報(bào)價(jià)遠(yuǎn)高于國(guó)產(chǎn)泵。國(guó)內(nèi)外幾乎所有的大小型高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽運(yùn)時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，都配備了羅茨泵，因此，國(guó)內(nèi)羅茨泵必須在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的基礎(chǔ)上進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)。這樣，必須進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)和噪聲，解決軸封漏油問(wèn)題，提高泵的外觀質(zhì)量。萊寶真空泵。提高泵的光潔度。此外，在一些國(guó)家和地區(qū)還需要考慮供電頻率為60 Hz的情況下，還要保證羅茨泵在長(zhǎng)時(shí)間提速的情況下的可靠性。

目前，國(guó)內(nèi)空冷直排羅茨泵發(fā)展迅速，技術(shù)成熟。由于泵在排氣口下設(shè)有氣體冷卻器，部分冷卻后的氣體通過(guò)管道返回泵室冷卻轉(zhuǎn)子，使壓縮熱量平衡，使泵能直接排出空氣。為了滿足不同極限真空度的要求，羅茨泵可串聯(lián)使用。一般在羅茨泵前加裝氣冷直排羅茨泵，使羅茨泵達(dá)到的極限真空度比前泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種類型的泵實(shí)際上是干泵，因?yàn)楸檬抑袥](méi)有工作介質(zhì)。在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航天空間模擬等領(lǐng)域，對(duì)這種空冷垂直排氣管泵和機(jī)組進(jìn)行了長(zhǎng)期的試驗(yàn)研究。因此，黑龍江真空泵應(yīng)在我國(guó)大力推廣應(yīng)用。

5.分子泵

分子泵已在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域的許多工藝中被用來(lái)替代低溫泵。特別是濺射、蝕刻和lcvd裝置，使用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。

由于分子泵的抽速僅為相同口徑低溫泵抽速的四分之一，因此分子泵的抽速比低溫泵的抽速長(zhǎng)。為了提高分子泵的抽速，國(guó)外在分子泵進(jìn)口側(cè)安裝了-130℃~-150℃的低溫冷板，稱為低溫分子泵。蒸汽由低溫板捕獲，其它氣體由分子泵抽提。該低溫分子泵在真空鍍膜裝置中的應(yīng)用，不僅提高了生產(chǎn)效率，而且提高了薄膜質(zhì)量。分子泵應(yīng)建立從小到大的完整系列，并研發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵、淄博水環(huán)式真空泵以滿足不同場(chǎng)合的需要。

6.干泵

國(guó)外干泵市場(chǎng)的持續(xù)增長(zhǎng)主要是由半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、化工產(chǎn)業(yè)和薄膜產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展帶動(dòng)的。在日本，干式真空泵已被用于替代半導(dǎo)體工業(yè)中的油封機(jī)械泵。超過(guò)45％的歐美半導(dǎo)體工業(yè)用干式真空泵型機(jī)械泵取代了油封式機(jī)械泵，極大地提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。極限壓力為10~10~2 Pa，泵速為20~500 m~3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，國(guó)產(chǎn)干式泵的應(yīng)用率不足1%。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用干式泵全部從國(guó)外進(jìn)口，價(jià)格昂貴。